[发明专利]一种静电力显微镜的间歇接触式测量方法无效
| 申请号： | 201110310043.6 | 申请日： | 2011-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102507986A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 丁喜冬;李超;林国淙 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 禹小明;邱奕才 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 静电力 显微镜 间歇 接触 测量方法 | ||
1.一种静电力显微镜的间歇接触式测量方法，所述静电力显微镜包括由探针（1-1）、探针位置感应器（1-2）、压电激振器（1-3）和压电扫描器（1-5）组成的扫描头（1）、以及低频电压信号发生器（2）、高频电压信号发生器（3）、低频振动信号检测器（4）、高频振动信号检测器（5）和控制器（6），所述压电扫描器（1-5）上放置有样品（1-4），其特征在于测量方法同时进行如下操作：
操作A、由低频电压信号发生器（2）产生对应探针（1-1）较低本征频率相同或接近的电压信号，并施加在与探针（1-1）紧密相连的压电激振器（1-3）上，从而激发探针（1-1）在低频振动模式上振动，探针位置感应器（1-2）感应到这种振动并将它传送到低频振动信号检测器（4），测量出其振幅和相位信号，控制器（6）控制压电扫描器（1-5）使探针（1-1）在样品（1-4）上扫描从而得到样品形貌图；
操作B、由高频电压信号发生器（3）产生对应探针（1-1）较高本征频率相同或接近的电压信号，并施加探针（1-1）和/或样品（1-4）上，探针（1-1）和样品（1-4）间的静电力相互作用，激发探针（1-1）在高频振动模式上振动，探针位置感应器（1-2）感应到这种振动并将它传送到高频振动信号检测器（5），测量出其振幅和相位信号，控制器（6）利用该振幅和相位信号进行成像，得出静电力分布的二维图像。
2.根据权利要求1所述的静电力显微镜的间歇接触式测量方法，其特征在于所述高频电压信号发生器（3）产生的电压信号为交流信号，该交流信号能施加在探针（1-1）或样品（1-4）上。
3.根据权利要求1所述的静电力显微镜的间歇接触式测量方法，其特征在于所述操作B中，能由高频电压信号发生器（3）同时产生多个电压信号，以激发探针（1-1）的多个高频振动模式，相应地，高频振动信号检测器（5）也同时检测多个振动信号并由控制器（6）控制成像。
4.根据权利要求3所述的静电力显微镜的间歇接触式测量方法，其特征在于所述操作B所生成的静电力图像包括振幅和相位两幅图像。
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