[发明专利]基板模块移载方法及应用于该方法的磁性板无效
| 申请号: | 201110309690.5 | 申请日: | 2011-10-13 |
| 公开(公告)号: | CN103042560A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
| 发明(设计)人: | 熊鑫;谢青峰 | 申请(专利权)人: | 亚旭电子科技(江苏)有限公司;亚旭电脑股份有限公司 |
| 主分类号: | B26D7/18 | 分类号: | B26D7/18 |
| 代理公司: | 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 | 代理人: | 金利琴 |
| 地址: | 215200 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 一种基板模块移载方法,其利用磁性板将切割机所切割完成的多个基板模块移载至该切割机外部,由此可有效缩减操作人员的移载时间与降低操作上的复杂度,进而达到降低切割机的空闲时间,增加利用率与降低衍生的额外设备成本的效果,达到制程良率及产能提升的目的;此外,本发明还揭露一种用于该方法的磁性板。利用本发明的基板模块移载方法,可快速、安全、方便地利用磁性板将切割机所切割完成的多个基板模块移载至切割机外部,不仅缩减操作人员的移载时间与降低操作复杂性,进而达到降低切割机的空闲时间,增加利用率与降低衍生的额外设备成本的效果,达到制程良率及产能提升的目的。 | ||
| 搜索关键词: | 模块 方法 应用于 磁性 | ||
【主权项】:
一种基板模块移载方法,其特征在于:其应用于移载切割机中由一基板片切割成的多个基板模块,且各该基板模块均含有导磁金属,该基板模块移载方法包括:以一足以覆盖该基板片的磁性板覆盖并吸附各该含有导磁金属的基板模块;以及将吸附各该基板模块的该磁性板移至该切割机外部,并自该磁性板卸除各该基板模块。
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