[发明专利]一种中耳植入式微型压电传声器及其制备方法

摘要

本发明属生物医学工程仿生学领域，涉及中耳微型传声器，具体涉及一种中耳植入式微型压电传声器及其制备方法。本发明提供了所述的中耳植入式微型压电传声器，其主要元器件包括：压电陶瓷双晶片，采用高灵敏、低品质因数的压电陶瓷，运用新工艺制作长1.5～4.0mm、宽0.5～1.0mm、厚0.2～0.3mm的条形压电陶瓷双晶片，质量小于7mg。固定件，由固定卡环与固定套环组合而成，材质为镍钛记忆合金。其中固定套环为0.6mm宽、长0.6～1.5mm左右，厚0.1mm的片状合金叠合而成；固定卡环焊接于片状套环的中部。卡环由一对直径0.2mm合金丝构成，固定件整体质量约4mg。MEMS集成印刷式放大降噪电路系统芯片，该芯片尺寸小于1.2mm×0.8mm×0.05mm，整体质量约1～2mg，电路系统采用MEMS工艺在硅基上蚀刻印刷而成。

主权项

一种中耳植入式微型压电传声器其特征是：使用超薄微型压电陶瓷双晶片作为核心换能器件，采用MEMS技术等加工工艺制造的一体化超微型传声器器件，该器件通过耦合固定于听骨链（砧骨或锤骨）的方式整体植入中耳腔，以漂浮受迫振动方式拾取听骨链振动声学信号,它具有良好的生物相容性、防盐防潮防静电高信噪比宽频响应等特点,在模拟验证性有限元建模分析测试中，它可以灵敏地拾取可听见声频率20Hz～20000Hz范围所致听骨链振动声学信号，并且具有较好的频率响应曲线。