[发明专利]一种中耳植入式微型压电传声器及其制备方法

权利要求书

1.一种中耳植入式微型压电传声器其特征是：使用超薄微型压电陶瓷双晶片作为核心换能器件，采用MEMS技术等加工工艺制造的一体化超微型传声器器件，该器件通过耦合固定于听骨链（砧骨或锤骨）的方式整体植入中耳腔，以漂浮受迫振动方式拾取听骨链振动声学信号,它具有良好的生物相容性、防盐防潮防静电高信噪比宽频响应等特点,在模拟验证性有限元建模分析测试中，它可以灵敏地拾取可听见声频率20Hz～20000Hz范围所致听骨链振动声学信号，并且具有较好的频率响应曲线。

2.根据权利要求1所述的一种中耳植入式微型压电传声器制作方法：先将规格为长1.5～3.5mm、宽0.5～1.0mm、厚0.15～0.30mm条状薄层压电陶瓷双晶片进行表面处理，利用MEMS技术在表面加工整合前置放大电路并贴合封装，派瑞林气相沉积进行绝缘防盐防潮防机体排异处理，最后结合镍钛记忆合金固定件后再进行表面喷涂薄层医用钛粉防静电，重复派瑞林气相沉积,设计的MEMS微型压电传声器质量不大于16mg，最大尺寸不超过3.5mm（长）×1.2mm（宽）×0.4mm(厚)，能够结合固定于听骨链砧骨、锤骨多个位点上。

3.根据权利要求1所述的一种中耳植入式微型压电传声器，其特征是：以漂浮振动方式实现振动声学信号与电声信号转换，通过固定耦合于听骨链的方式全部植入中耳腔，成为全植入性传声器。

4.根据权利要求2所述的一种中耳植入式微型压电传声器制作方法，其特征是： 采用MEMS技术等加工工艺将前置放大电路、记忆镍钛合金固定件等于压电陶瓷双晶片一体化集成，将器件的整体质量与体积显著缩小，其质量不超过20mg、尺寸不超过3.5mm（长）×1.2mm（宽）×0.4mm(厚)，从而整体植入中耳腔。

5.根据权利要求2所述的一种中耳植入式微型压电传声器制作方法，其特征是：采用具有良好的生物相容性的医用钛进行表面喷涂覆盖整体传声器,可获三方面优势：既屏蔽静电干扰，又可以减少植入中耳后的排异反应，还显著减轻了器件的整体质量。

6.根据权利要求2所述的一种中耳植入式微型压电传声器制作方法，其特征是：两次派瑞林气相沉积封装工艺为器件提供了绝缘与防潮防盐的双重保护。

7.根据权利要求2所述的一种中耳植入式微型压电传声器制作方法，其特征是：压电传声器件直接结合微型记忆镍钛合金固定件，可以方便植入中耳并固定于听骨链，减少机体排异反应。