[发明专利]喷淋头清洗装置无效
| 申请号： | 201110305184.9 | 申请日： | 2011-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103028560A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 叶芷飞;梁秉文 | 申请（专利权）人： | 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种喷淋头清洗装置，用于对喷淋头的表面进行清洗，包括：清洗刷，具有刷毛；清洗刷机械手，用于夹持和移动清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能够与喷淋头的表面进行相对运动，利用该相对运动清洗喷淋头的表面；吸附装置，用于吸附清洗过程中的污染物。本发明实施例解决了喷淋头的表面无法清洗的问题，避免喷淋头表面的污染物对下一次沉积工艺的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种喷淋头清洗装置，用于对喷淋头的表面进行清洗，其特征在于，包括：清洗刷，具有刷毛；清洗刷机械手，用于夹持和移动清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能够与喷淋头的表面进行相对运动，利用该相对运动清洗喷淋头的表面；吸附装置，用于吸附清洗过程中的污染物。
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