[发明专利]薄膜太阳能电池制作工艺、薄膜太阳能电池前体层堆叠的制造方法和太阳能电池前体层堆叠

摘要

本发明涉及薄膜太阳能电池制作工艺、薄膜太阳能电池前体层堆叠的制造方法和太阳能电池前体层堆叠，描述了一种制造适用于薄膜太阳能电池的层堆叠的方法以及用于太阳能电池的前体。该方法包括以下步骤：在透明衬底上沉积TCO层，沉积配置来用于太阳能电池的第一p-i-n结的第一导电类型层，沉积配置来用于太阳能电池的第一p-i-n结的第一本征型层，以及沉积配置来用于太阳能电池的第一p-i-n结另一导电类型层，其中该另一导电类型层与第一导电类型层的导电性相反。该方法还包括以下步骤：通过化学气相沉积来设置含SiOx的中间层，以及沉积配置来用于太阳能电池的第二p-i-n结，其中含SiOx的中间层设置在另一导电类型层之内，并且其中含SiOx层具有小于等于17nm的厚度。

主权项

一种制造适用于薄膜太阳能电池的层堆叠的方法，该方法包括以下步骤：在透明衬底上沉积TCO层；沉积配置来用于太阳能电池的第一p‑i‑n结的第一导电类型层；沉积配置来用于太阳能电池的第一p‑i‑n结的第一本征型层；沉积配置来用于太阳能电池的第一p‑i‑n结的另一导电类型层，所述另一导电类型层与所述第一导电类型层的导电性相反；通过化学气相沉积来设置含SiOx的中间层；以及沉积配置来用于太阳能电池的第二p‑i‑n结；其中所述含SiOx的中间层设置为所述另一导电类型层的一部分，并且其中所述含SiOx的中间层具有小于等于17nm的厚度。