[发明专利]等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置。在感应耦合型等离子体处理装置中，完全地抑制RF天线内的波长效果，并且既在周方向也在径向容易地实现均匀的等离子体处理。在腔室的顶壁部或电介质窗(52)上设置有用于在腔室内生成感应耦合的等离子体的RF天线(54)。该RF天线(54)具有圆环状的内侧线圈(58)和外侧线圈(62)。内侧线圈(58)包括单一的圆形线圈单元(60)。外侧线圈62包括在周方向被分割且整体上形成一圈的两个半圆形线圈单元(64(1))、(64(2))。各个线圈单元(60)、(64(1))、(64(2))与高频供电部(66)电并联连接。

主权项

一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：具有电介质的窗的处理容器；在所述处理容器内保持被处理基板的基板保持部；向所述处理容器内供给期望的处理气体，用于对所述基板实施期望的等离子体处理的处理气体供给部；设置在所述电介质窗之外，用于在所述处理容器内通过感应耦合生成处理气体的等离子体的RF天线；和高频供电部，其向所述RF天线供给适合于所述处理气体的高频放电的频率的高频电力，其中，所述RF天线具有在空间上沿规定形状和规定尺寸的环串行配置、且电并联连接的多个线圈单元。