[发明专利]一种三维实体针尖柔性微电极阵列及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201110301733.5 申请日: 2011-09-30
公开(公告)号: CN102336386A 公开(公告)日: 2012-02-01
发明(设计)人: 李志宏;王任鑫;王玮 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: B81B7/04 分类号: B81B7/04;B81C1/00;A61B5/04
代理公司: 北京市商泰律师事务所 11255 代理人: 毛燕生
地址: 100871 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种三维实体针尖柔性微电极阵列及其制作方法。该微电极阵列包括:包裹在绝缘的柔性衬底中分立绝缘柱阵列、电极、导电引线,其中绝缘柱头部呈针尖状,被电极包裹,针尖电极裸露在外,导电引线沿着绝缘柱和绝缘的柔性衬底铺设,一端与电极相连,另外一端裸露在外,所述绝缘柱为实心结构,从而保证电极能扎入刺激部位,有效提供电刺激和记录。为制得该三维实体针尖柔性微电极阵列对硅材料采用硅划片-腐蚀法,以制得三维实体针尖柔性微电极阵列。该发明提供的三维实体针尖柔性微电极阵列可应用于神经电刺激和记录,并广泛应用于神经疾病治疗、神经康复、神经生物学基础研究等领域。
搜索关键词: 一种 三维 实体 针尖 柔性 微电极 阵列 及其 制作方法
【主权项】:
一种三维实体针尖柔性微电极阵列,包括绝缘的柔性衬底(1)、绝缘柱(2)、针形电极(3)、导电引线(4),其特征在于:其中包裹在绝缘的柔性衬底(1)中分立绝缘柱(2)阵列,分立绝缘柱(2)绝缘柱头部呈针尖状,被针形电极(3)包裹,针尖电极裸露在外,导电引线(4)沿着绝缘柱(2)和绝缘的柔性衬底(1)铺设,一端与针形电极(3)相连,另外一端裸露在外。
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