[发明专利]离子注入装置

摘要

本发明提供一种离子注入装置，以廉价且简单的装置结构，能够防止离子源产生的微粒混入基板。本发明的离子注入装置(IM)包括：离子源(1)，通过离子束引出口(14)朝向与重力方向(G)交差的方向引出离子束(2)；输送盘(7)，装载有基板(4)；掩模(5)，安装在输送盘(7)上，且至少具有一个开口部(6)；以及驱动机构，通过使输送盘(7)在与离子束(2)交差的方向上移动，使离子束(2)经过掩模(5)上形成的开口部(6)，对基板的规定区域进行照射。该离子注入装置还包括防尘板(11)，在沿重力方向(G)观察离子束引出口(14)时，该防尘板(11)覆盖离子束引出口(14)的下方，并且不妨碍离子束(2)照射基板(4)。

主权项

一种离子注入装置，包括：离子源，通过离子束引出口朝向与重力方向交差的方向引出离子束；输送盘，装载有基板；掩模，安装在所述输送盘上，且至少具有一个开口部；以及驱动机构，通过使所述输送盘在与所述离子束交差的方向上移动，使所述离子束经过所述掩模上形成的开口部，对所述基板的规定区域进行照射，所述离子注入装置的特征在于，还包括防尘板，在沿重力方向观察所述离子束引出口时，所述防尘板覆盖所述离子束引出口的下方，并且不妨碍所述离子束照射所述基板。