[发明专利]等离子体点火状态的检测方法有效
| 申请号： | 201110300339.X | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102507003A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 熊磊;奚裴 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种等离子体点火状态的检测方法，包括：提供等离子体的光谱强度参考阈值；进行等离子体点火，点火过程中光谱检测仪检测等离子体的光谱强度，获得等离子体光谱强度上升过程中某一时间点的等离子体光谱强度作为光谱强度选定值；比较所述光谱强度选定值和光谱强度参考阈值的大小，当所述光谱强度选定值大于光谱强度参考阈值时，判定等离子体点火为成功状态，当所述光谱强度选定值小于光谱强度参考阈值时，判定等离子体点火为失败状态。本发明提供的等离子体点火状态的检测方法，避免了等离子体刻蚀过程中等立体点火失败导致晶圆报废的问题，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 点火 状态 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体点火状态的检测方法，其特征在于，包括步骤：提供等离子体的光谱强度参考阈值；进行等离子体点火，点火过程中光谱检测仪检测等离子体的光谱强度，获得等离子体光谱强度上升过程中某一时间点的等离子体光谱强度作为光谱强度选定值；比较所述光谱强度选定值和光谱强度参考阈值的大小，当所述光谱强度选定值大于光谱强度参考阈值时，判定等离子体点火为成功状态，当所述光谱强度选定值小于光谱强度参考阈值时，判定等离子体点火为失败状态。
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