[发明专利]透明聚合物材料微器件键合封装质量检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201110299915.3 | 申请日： | 2011-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN102507588A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王小鹏;陈天宁;刘志华;高扬;郭云龙;马红丽;李欣欣 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 透明聚合物材料微器件键合封装质量检测装置及检测方法，是基于生物可降解材料PLGA等这类透明聚合物良好的可见光透射性能而提出的——可见光透射检测法，检测原理是基于光垂直入射材料键合部位时光在不同键合质量情况下反射情况的不同从而引起透射光强的不同，从而可由此原理通过透射图像的处理判断透明聚合物材料微器件的键合质量，设计了有效的可见光透射图像采集设备并进行有效的图像处理。此种方法能有效检测这种特殊透明聚合物材料的微器件结构键合封装质量，是一种高效的无损检测方法，设备简单，依据此方案能设计有效的检测设备，并利于在线检测的实现。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 聚合物 材料 器件 封装 质量 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
透明聚合物材料微器件键合封装质量检测装置，其特征在于：包括上端安装有带镜头(3)的CCD相机(4)、下端安装有平行光源(1)的仪器架(5)，在CCD相机(4)与平行光源(1)之间的仪器架(5)上安装有用于放置被测件(2)的透明的载物台，其中平行光源(1)安装在CCD相机(4)的正下方，所述的CCD相机还与计算机(6)相连。
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