[发明专利]一种晶体硅太阳电池一步选择性扩散方法及所用网版

摘要

本发明涉及晶体硅太阳电池的同质结扩散领域，具体涉及一种晶体硅太阳电池一步选择性扩散方法及所用网版，是一种一步即可在太阳电池的表面选择性的进行部分重扩和轻扩的方法。该方法包括如下步骤：1、在制绒后硅片上印刷浆料；2、低温烘干；3、高温烧结；4、去除硅玻璃。本方法通过分别控制浆料在电池表面任意部位的印刷量，进行晶体硅电池一步选择性扩散发射极的制备工艺。相对于传统方法，本方法不但可以不用掩膜板，而且印刷浆料后，不需要再进入扩散炉中进行扩散；不但可以减少选择性扩散的工艺步骤，而且还可以进行定位、定量的选择性扩散，实现晶硅表面任意点任意浓度同质结扩散。

主权项

一种晶体硅太阳电池一步选择性扩散方法，其特征在于，在制绒后的硅片上印刷浆料，通过调节网版网孔开口比例调节晶硅不同部位浆料的印刷量，然后进行烘干和烧结、去除磷硅玻璃，完成扩散步骤。