[发明专利]基于蘸笔原理的微纳尺度连接方法有效
| 申请号： | 201110295705.7 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102344115A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 杨兴;任晓艳;李丹;郑泉水;周兆英 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00;H01L21/60;H01L21/56;B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 朱琨 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了精密加工技术领域中的一种基于蘸笔原理的微纳尺度连接方法，用以解决常用的微纳尺度结构的固定和连接方法存在的不足。包括对基底和待固定样品进行处理，使其基底和待固定样品处于亲胶状态；在探针表面包覆一层液体胶；在基底上确定需要连接的位置，控制探针与基底接触，使探针与基底之间形成液桥。在表面张力的作用下，通过控制探针直径、接触时间等参数实现微米甚至纳米尺度胶滴在基底的形成，从而实现基底和待固定样品微纳米尺度的连接。本发明与常用的微纳尺度结构的固定和连接方法相比，具有胶滴在微/纳米尺度方便可控、对样品无污染和损伤、无需真空和超净环境以及成本低廉等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 原理 尺度 连接 方法 | ||
【主权项】：
一种基于蘸笔原理的微纳尺度连接方法，其特征是所述方法包括：步骤101、对基底和待固定样品进行处理，使其基底和待固定样品处于亲胶状态；步骤102、在探针表面包覆一层液体胶；步骤103、控制探针与基底接触，使探针与基底之间形成液桥，实现基底和待固定样品的连接。
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