[发明专利]截面为带状的真空阴极电弧等离子体的磁过滤方法

摘要

本发明提供一种截面为带状的真空阴极电弧等离子体中的电中性的液滴和宏观颗粒的去除方法，属于材料的真空表面改性领域。具体来讲是一种使用带状截面真空阴极电弧等离子体通道，通过施加在该通道内的磁场来弯曲带状的真空阴极电弧等离子体，过滤掉电中性的液滴和宏观颗粒的磁过滤方法。所述方法克服现有的弯管真空阴极电弧磁过滤方法沉积区域小、沉积膜不均匀、加上扫描系统设备复杂、昂贵、且不适合大规模工业镀膜应用等缺陷。该方法能够在长长的带状范围内提供镀膜用的等离子体，加上旋转工件靶台后，可以大大拓宽过滤电弧的使用领域。提高沉积效率，实现大空间镀膜，提高镀膜效率并节约成本。

主权项

本发明是一种对截面或运动区域截面为带状的真空阴极电弧等离子体，进行磁过滤，去除其中宏观颗粒及中性粒子的磁过滤方法。需要进行弯曲过滤的真空阴极电弧源采用长条形或者矩形或者椭圆形等的可以产生带状真空阴极电弧或可以为真空电弧提供带状运动空间。其特征是带状长度的长轴l大于宽轴方向的长度w，l/w在1.5以上。由带状真空阴极电弧源产生的等离子体最终也以带状横截面向外发射。