[发明专利]一种实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法

摘要

本发明公开了一种实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法，首先通过理论分析样品的反射率或透射率随温度变化的规律，拟合获得探测光波波长位置反射率或透射率与温度变化之间的线性关系A，建立实验系统，得到反射率或透射率随加热光功率变化的规律，拟合获得反射率或透射率与加热光功率之间的线性关系B，从而获得温度变化与加热光功率之间的线性关系C，然后，在实验测得样品表面加热光斑大小以及样品对加热光反射率或透射率的基础上，通过理论计算获得温度变化与加热光功率之间的线性关系D，最后通过调整样品对加热光的吸收率，使线性关系D与线性关系C相同，即可获得样品对加热光功率的吸收率绝对值，该方法可以较为简便的实现测量光学薄膜吸收损耗的绝对值。

主权项

一种实现光学薄膜元件吸收损耗绝对测量的方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：根据被测光学薄膜元件的反射率或透射率随温度变化的规律，拟合获得探测光波波长位置反射率或透射率与温度变化之间的线性关系A，所述线性关系A的表达式为：R＝k1ΔT+R0，其中R为被测光学薄膜元件的反射率或透射率，R0为初始温度无变化时的反射率或透射率，ΔT为温度变化值，k1为比例系数；S2：采用一束激光作为加热光束照射到被测光学薄膜元件上，选择一束波长靠近所述的光学薄膜元件反射或透射带边缘的(功率毫瓦级或更低的低功率)连续激光作为探测光束，与加热光束照到被测光学薄膜元件的相同或相邻位置，由光电探测器监测被测光学薄膜元件的反射或透射的全部探测光强度的变化，拟合获得反射率或透射率与加热光束功率之间的线性关系B，所述线性关系B的表达式为：R＝k2P+R0，其中，P为加热光功率，k2为比例系数；S3：根据线性关系A和线性关系B，得到温度变化与加热光束功率之间的线性关系C，所述线性关系C为：ΔT＝(k2/k1)·P，其中，k2/k1为比例系数；S4：将已知光学和热学参数的光学薄膜元件作为已知样品，测量已知样品的表面加热光斑大小以及对加热光束的反射率或透射率，从而得到已知样品的温度变化与加热光束功率之间的线性关系D，所述线性关系D的表达式为：ΔT＝k3P，其中，k3为比例系数；S5：通过调整已知样品对加热光束的吸收率，使线性关系D与线性关系C相同，即比例系数k3和比例系数k2/k1相同，获得被测光学薄膜元件对加热光束的吸收率。