[发明专利]一种纳米气敏薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201110288110.9 | 申请日： | 2011-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN102442787A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 李响;宋志成 | 申请（专利权）人： | 青岛海信电器股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23;C04B41/50;B82Y40/00;G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王朋飞;张庆敏 |
| 地址： | 266100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种纳米气敏薄膜，其为Sn掺杂的ZnO纳米棒薄膜，采用先将锡盐溶液掺入含锌盐的溶液中形成种子层，种子层在含硝酸锌的生长液中外延生长成ZnO纳米棒薄膜；所述种子层中Sn4+离子与Zn2+离子的摩尔比为(0.01-0.08)∶1。本发明采用溶胶-凝胶(sol-gel)法制备Sn掺杂ZnO纳米气敏薄膜，具有对还原性气体很强的气敏特性，可制成薄膜型气体传感器，具有体积小、结构稳定、耗材少、便于集成等优点，薄膜未来应用领域广泛；而且由于其具备良好的气敏特性，更适合用于还原性气体检测设备，满足现代传感器小型化、低功率等要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米气敏薄膜，其特征在于，其为Sn掺杂的ZnO纳米棒薄膜，采用先将锡盐溶液掺入含锌盐的溶液中形成种子层，种子层在含硝酸锌的生长液中外延生长成ZnO纳米棒薄膜；所述种子层中Sn4+离子与Zn2+离子的摩尔比为(0.01‑0.08)∶1。
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