[发明专利]氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金有效
| 申请号： | 201110262891.4 | 申请日： | 2011-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102409300A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 孙宜华;吕鑫 | 申请（专利权）人： | 三峡大学;孙宜华;湖北三峡新型建材股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;B23K1/19;B23K35/26;C22C13/00 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443002*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种氧化物陶瓷溅射靶及其制备方法和所用的钎焊合金，将以Sn为主要成分的含有特定含量的Zn和In的三元系钎焊合金作为连接陶瓷靶材与Cu或Cu合金背板的连接材料，陶瓷靶材连接面中温预烧渗极薄的银过渡层，实施陶瓷靶材与Cu或Cu合金背板的连接，能够低成本、高效率的生产，改善钎料润湿性，提高靶材与同背板的连接性能，实现稳定溅射的溅射靶。本发明的制造氧化物陶瓷溅射靶的方法，有效地实现了靶材与背板的连接，提高了靶的连接强度，连接的抗剪强度达20MPa左右，在进行真空溅射时，能够承受更大的靶功率密度，靶功率密度可达8.2W/cm2。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 陶瓷 溅射 及其 制备 方法 所用 钎焊 合金 | ||
【主权项】：
一种氧化物陶瓷溅射靶用钎焊合金，其特征在于：用于连接靶材与Cu或Cu合金背板的钎焊合金组成为：以重量百分比计：Zn 3~8.5%，In 4~8%，其余部分为Sn及无法去除的杂质。
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