[发明专利]束流调节装置及离子注入系统无效
| 申请号： | 201110262807.9 | 申请日： | 2011-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN102983048A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 洪俊华;陈炯;钱锋 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;王婧荷 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种束流调节装置及离子注入系统。该束流调节装置包括至少一对磁性杆，每对磁性杆中的两个磁性杆相互对置、且该两个磁性杆的相互对置的两端极性相反。本发明能够利用结构简单可靠且成本较低的束流调节装置实现对离子束的调节，尤其是对离子束的均匀性调节。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 装置 离子 注入 系统 | ||
【主权项】：
一种束流调节装置，其特征在于，其包括至少一对磁性杆，每对磁性杆中的两个磁性杆相互对置、且该两个磁性杆的相互对置的两端极性相反。
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