[发明专利]一种铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧工艺无效

专利信息
申请号: 201110258563.7 申请日: 2011-09-03
公开(公告)号: CN102417308A 公开(公告)日: 2012-04-18
发明(设计)人: 彭永锋;张小东;吴彬辉;张泽兴;郑新华 申请(专利权)人: 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
主分类号: C03C17/22 分类号: C03C17/22
代理公司: 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 代理人: 施秀瑾
地址: 332005 江西省九江*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 一种铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧工艺,包括原料选择,氮化硅粉选择,氮化硅粉;水溶性有机添加剂选择,分散剂选择,聚丙烯酸(PAA)分散剂,用量1-5‰;粘结剂选择,聚乙烯醇(PVA)粘结剂,用量3-5‰;防潮剂选择,107胶水,用量3-6‰;溶液选择,纯水,用量1000-1300ml/个;备料,氮化硅粉,聚乙烯醇(PVA)粘结剂按3-5‰比例称料,用纯水先溶解;聚丙烯酸PAA分散剂,按1-5‰比例称料;107胶水,按3-6‰比例称料;制备;喷涂。不仅简化了工序,而且还降低了成本,缩短了坩埚涂层生产周期,具有使用寿命长、安全性好的特点,且硅锭利用率高、硅锭质量好。
搜索关键词: 一种 铸锭 石英 坩埚 氮化 涂层 工艺
【主权项】:
一种铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧工艺,其特征在于,包括1)原料选择:1.1氮化硅粉选择,氮化硅粉;1.2水溶性有机添加剂选择分散剂选择:聚丙烯酸(PAA)分散剂,用量1‑5‰;粘结剂选择:聚乙烯醇(PVA)粘结剂,用量3‑5‰;防潮剂选择:107胶水,用量3‑6‰;1.3溶液选择:纯水,用量1000‑1300ml/个;2)备料:氮化硅粉,聚乙烯醇(PVA)粘结剂按3‑5‰比例称料,用纯水先溶解;聚丙烯酸PAA分散剂,按1‑5‰比例称料;107胶水,按3‑6‰比例称料;3)制备:将称好的聚丙烯酸PAA原料与107胶水倒进聚乙烯醇PVA溶液杯中,搅拌均匀;然后加入1300ml纯水,再次搅拌均匀后,将氮化硅粉倒入,搅拌均匀,密封放置100min后就可使用;4)喷涂,用喷枪将配好的全部氮化硅浆料均匀喷在体温在50‑70℃的石英坩埚内壁与底部上,在50‑70℃的温度下干燥1‑3h,冷却放置100min后就可铸锭使用。
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