[发明专利]三氯氢硅合成工艺和设备

摘要

本发明涉及三氯氢硅合成工艺和设备。本发明的目的是公开一种高产率、低成本的三氯氢硅合成改进方法和设备。提供了一种将三氯氢硅合成过程中的副产品二氯二氢硅、四氯化硅继续回床的方法和设备，即用精馏分离的方法将二氯二氢硅、四氯化硅从合成产品料中分分别离出来，汽化后仍通回合成反应器中，并在运行过程中使其达到二氯二氢硅、四氯化硅含量的动态平衡，这样既提高了三氯氢硅的合成产量，又减少了原料硅、氢气及氯气等的消耗，从而降低了生产成本。

主权项

一种三氯氢硅合成设备，包括：氯化氢储罐（1），用于储存氯化氢气体；用于三氯氢硅合成反应的合成炉（2），所述合成炉与所述氯化氢储罐连接并从其接收氯化氢气体，在所述合成炉中还加入硅粉，硅粉和氯化氢气体反应生成三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅的混合物；与所述合成炉连接的冷凝器（3），所述冷凝器从合成炉接收反应生成的所述混合物并将所述混合物冷凝；第一精馏塔（5），所述第一精馏塔的入口与冷凝器相连，所述第一精馏塔接收被冷凝的混合物，用于从被冷凝的混合物中分离出二氯二氢硅；第二精馏塔（6），所述第二精馏塔的入口与第一精馏塔塔底相连，所述第二精馏塔接收第一精馏塔塔底釜液，用于从其中分离出四氯化硅；与合成炉相连的汽化器（8），所述汽化器接收通过第一精馏塔分离得到的液态二氯二氢硅、和通过第二精馏塔分离得到的液态四氯化硅，并将液态二氯二氢硅和四氯化硅汽化后返回合成炉。