[发明专利]一种离子源灯丝及其夹持装置无效
| 申请号： | 201110241135.3 | 申请日： | 2011-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102956421A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 胡宝富;彭立波;伍三忠 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于离子注入机的离子源灯丝及其夹持装置。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括：灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。该装置特征在于，采用特别的灯丝(1)安装于灯丝联接杆(2)上，并采用特别的丝夹(5)联接灯丝联接杆(2)和电源输入带(6)；灯丝(1)的设计可以发射高强度电子，丝夹(5)可以牢固的固定灯丝联接杆(2)，并起到输送高压的作用。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 灯丝 及其 夹持 装置 | ||
【主权项】：
一种离子源灯丝极其夹持装置，特别适用于离子注入机用离子源。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括：灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。
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