[发明专利]一种薄膜太阳能电池的制造方法

摘要

一种薄膜太阳能电池的制造方法，包括下列步骤：第一步，在基板上形成第一电极层；第二步，在所述第一电层上形成一层光电转换层；第三步，在前面工序中最后形成的所述光电转换层上形成中间层，在所述中间层上形成另一层光电转换层；第四步，如果已经达到设计的光电转换层层数，直接进入第五步；否则，重复第三步，直到达到设计的光电转换层层数，再进入第五步；第五步，在最后形成的所述光电转换层上形成第二电极层。本发明制造的薄膜太阳能电池在光电转化层中间制作中间层，改善了光电转化层之间的内部扩散效应问题，提高了堆叠的制作良好率和整体的光电转换效率；本发明的制造方法生产效率高，制造成本低。

主权项

一种薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：包括下列步骤：第一步，在基板上形成第一电极层；第二步，在所述第一电层上形成一层光电转换层；第三步，在前面工序中最后形成的所述光电转换层上形成中间层，在所述中间层上形成另一层光电转换层；第四步，如果已经达到设计的光电转换层层数，直接进入第五步；否则，重复第三步，直到达到设计的光电转换层层数，再进入第五步；第五步，在最后形成的所述光电转换层上形成第二电极层。