[发明专利]一种薄膜太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：包括下列步骤：

第一步，在基板上形成第一电极层；

第二步，在所述第一电层上形成一层光电转换层；

第三步，在前面工序中最后形成的所述光电转换层上形成中间层，在所述中间层上形成另一层光电转换层；

第四步，如果已经达到设计的光电转换层层数，直接进入第五步；否则，重复第三步，直到达到设计的光电转换层层数，再进入第五步；

第五步，在最后形成的所述光电转换层上形成第二电极层。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：所述薄膜太阳能电池包括两层光电转换层，则其具体制造步骤如下：

第一步，在基板上形成第一电极层；

第二步，在所述第一电层上形成第一光电转换层；

第三步，在所述第一光电转换层上形成中间层，在所述中间层上形成第二光电转换层；

第四步，直接进入第五步；

第五步，在所述第二光电转换层上形成第二电极层。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：所述薄膜太阳能电池包括三层光电转换层，则其具体制造步骤如下：

第一步，在基板上形成第一电极层；

第二步，在所述第一电层上形成第一光电转换层；

第三步，在所述第一光电转换层上形成第一中间层，在所述第一中间层上形成第二光电转换层；

第四步，在所述第二光电转换层上形成第二中间层，在所述第二中间层上形成第三光电转换层；

第五步，在所述第三光电转换层上形成第二电极层。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：第一步中，在基板上形成第一电极层的方式为测镀法，或者为金属有机化学气相沉积法，或者为蒸镀法。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：第二步中，在所述第一电层上形成一层光电转换层的方法为射频电浆辅助化学气相沉积法，或者为超高频电浆辅助化学相沉积法，或者为微波电浆辅助化学相沉积法。

6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：第三步中，在前面工序中最后形成的所述光电转换层上形成中间层的方法为射频电浆辅助化学相沉积法，或者为超高频电浆辅助化学气相沉积法，或者为微波电浆辅助化学气相沉积法。

7.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：第三步中，在所述中间层上形成另一层光电转换层的方式与第一步中在基板上形成第一电极层的方式相同。

8.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：第五步中，在最后形成的所述光电转换层上形成所述第二电极层的方式与第一步中在基板上形成第一电极层的方式相同。

9.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：第一步中，形成所述第一电极层后，先使用第一道雷射制程来图案化所述第一电极层，作为形成多个串联电池的下电极；然后在进入第二步。

10.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于：第五步中，形成所述第二电极层后，再使用第三道雷射制程图案化所述第二电极层，作为形成多个联电池的上电极。