[发明专利]用于太阳能电池晶硅材料的制绒方法

摘要

本发明提供了一种用于太阳能电池的晶硅材料的制绒方法，向装有晶硅材料的真空反应腔内通入反应气体，在一定压力下，向反应腔内加上高频电，其中所述的反应气体为氧气和选自下述气体中的一种或多种的混合气体：硝酸气体、氯气、六氟化硫、碱金属氢氧化物气体。采用本发明方法得到的晶硅材料可大幅度提高太阳能电池片的光电转换效率；并且本发明方法完全摒弃了液体酸碱，既实现零排放，对环境不构成任何污染；也节约了大量的制作成本。

主权项

一种用于太阳能电池的晶硅材料的制绒方法，其特征在于：向装有晶硅材料的真空反应腔内通入反应气体，在一定压力下，向反应腔内加上高频电，其中所述的反应气体为氧气和选自下述气体中的一种或多种的混合气体：硝酸气体、单质卤素气体、六氟化硫、碱金属氢氧化物气体。