[发明专利]用于太阳能电池晶硅材料的制绒方法

权利要求书

1.一种用于太阳能电池的晶硅材料的制绒方法，其特征在于：向装有晶硅材料的真空反应腔内通入反应气体，在一定压力下，向反应腔内加上高频电，其中所述的反应气体为氧气和选自下述气体中的一种或多种的混合气体：硝酸气体、单质卤素气体、六氟化硫、碱金属氢氧化物气体。

2.如权利要求1所述的用于太阳能电池的晶硅材料的制绒方法，其特征在于：反应完成后，向反应腔内通入清洗气体。

3.如权利要求2所述的用于太阳能电池多晶硅材料的制绒方法，其特征在于：所述清洗气体选自下述气体中的一种或多种：空气、氮气或惰性气体。

4.如权利要求1～3之一所述的用于太阳能电池的晶硅材料的制绒方法，其特征在于：所述反应腔内的气体压力为160Pa～230Pa，反应气体总流量为1000～2500ml/min，所述高频电的频率为400KHz～14MHz。

5.一种用于太阳能电池的多晶硅材料的制绒方法，其特征在于：向装有多晶硅材料的真空反应腔内通入反应气体，在一定压力下，向反应腔内加上高频电，其中所述的反应气体为氧气和选自下述气体中的一种或多种的混合气体：硝酸气体、单质卤素气体、六氟化硫。

6.如权利要求5所述的用于太阳能电池的晶硅材料的制绒方法，其特征在于：反应完成后，向反应腔内通入下述气体中的一种或多种：空气、氮气或惰性气体。

7.如权利要求5或6所述的用于太阳能电池的多晶硅材料的制绒方法，其特征在于：所述反应腔内的气体压力为160Pa～230Pa，反应气体总流量为1000～2500ml/min，所述高频电的频率为400KHz～14MHz。

8.一种用于太阳能电池的单晶硅材料的制绒方法，其特征在于：向装有单晶硅材料的真空反应腔内通入反应气体，在一定压力下，向反应腔内加上高频电，其中所述的反应气体为氧气和选自下述气体中的一种或多种的混合气体：硝酸气体、单质卤素气体、碱金属氢氧化物气体。

9.如权利要求8所述的用于太阳能电池的单晶硅材料的制绒方法，其特征在于：反应完成后，向反应腔内通入下述气体中的一种或多种：空气、氮气或惰性气体。

10.如权利要求8或9所述的用于太阳能电池的多晶硅材料的制绒方法，其特征在于：所述反应腔内的气体压力为160Pa～230Pa，反应气体总流量为1000～2500ml/min，所述高频电的频率为400KHz～14MHz。