[发明专利]一种半导体器件测试系统脉冲大电流幅度校准装置

摘要

本发明提出了一种半导体器件测试系统脉冲大电流幅度校准装置，其组成部分包括：NIPXI-1042主控机箱，NI PXI-4071高速数据采集单元、TDS320数字示波器、半导体器件测试系统专用测试适配器。通过相关设备的设置，并对采集回来的脉冲信号数据进行处理，求取平均值作为校准结果。目前能够解决通信领域内半导体器件测试系统脉冲大电流源幅度的校准。

主权项

一种应用半导体器件测试系统脉冲大电流幅度校准装置进行校准的方法，其特征在于：所述半导体器件测试系统脉冲大电流幅度校准装置包括：主控机箱，高速数据采集单元、数字示波器、半导体器件测试系统专用测试适配器，其中高速数据采集单元具有电压采集的“+”和“‑”端子，半导体器件测试系统专用测试适配器具有脉冲电压信号输出的“+”和“‑”端子以及脉冲电流信号输入的“+”和“‑”端子，数字示波器具有信号测试端子，半导体器件测试系统内部的脉冲大电流源具有“+”和“‑”输出端子，高速数据采集单元位于主控机箱的空槽内，半导体器件测试系统专用测试适配器位于被测半导体器件测试系统测试端，半导体器件测试系统专用测试适配器的脉冲电压端子“+”端连接到高速数据采集单元的电压采集“+”端，半导体器件测试系统专用测试适配器脉冲电压端子“‑”端连接到高速数据采集单元的电压采集“‑”端，数字示波器的信号测试端子连接到专用测试适配器示波器测试端。校准方法包括以下步骤：1)设置高速数据采集单元，具体包括：将其设置为数字化仪方式，采样率设为50kS/s，电压量程设为根据所测量的脉冲电压信号值设置为合适的量程，输入阻抗设为10MΩ，带宽设为300kHz，关闭ADC校准，关闭自动归零功能，工作模式设置为软件触发模式；2)设置数字示波器，具体包括：将数字示波器设置为单次触发模式，触发电平设置为待测信号电平的1/3，垂直设置为待测信号电平的1/4，水平设置为待测波形的1/4。3)设置半导体器件测试系统脉冲大电流源输出待测幅度值，并将脉冲宽度设置为300μs；4)触发脉冲大电流源输出；5)判断数字示波器显示的波形是否为标准的单次脉冲电压波形，如果不是，重新触发脉冲大电流源，如果是则进行步骤6)；6)读取高速数据采集单元采集到的数据；7)处理采集到的数据以获得校准结果，处理过程具体包括，采集到的数据为n个，则提取采集到的数据中的第[n/3]个‑第[2n/3]个数据，求取提取数据的平均值作为校准结果，其中n是正整数，[n/3]表示对n除以3的结果取整，[2n/3]表示对2倍的n除以3的结果取整。