[发明专利]可测定低湿环境湿度的电阻型湿敏元件及其制作方法无效
申请号: | 201110200093.9 | 申请日: | 2011-07-18 |
公开(公告)号: | CN102279212A | 公开(公告)日: | 2011-12-14 |
发明(设计)人: | 李扬;邓超;杨慕杰 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01N27/04 | 分类号: | G01N27/04 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 韩介梅 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种可测定低湿环境湿度的电阻型湿敏元件及其制作方法,它是以陶瓷为基片,其上有多对叉指金电极,在陶瓷基片和叉指金电极表面涂敷有湿敏薄膜,湿敏薄膜为交联的(三羟基硅基丙基)正丁基溴化铵和石墨烯复合湿敏材料。该湿敏元件制备简单,稳定性好,可实现在几乎全部湿度范围内对于相对湿度的测定,特别是其在相对湿度低于10%的干燥环境下也具有较低的电阻,可灵敏地测定低湿环境湿度。该元件具有响应灵敏度较高、响应线性度良好、湿滞小、响应迅速、响应重现性好等优点,可广泛应用于工农业生产、仓储、大气环境监测等领域对于环境湿度,特别是干燥环境湿度的精确测量与控制。 | ||
搜索关键词: | 测定 低湿 环境 湿度 电阻 型湿敏 元件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
可测定低湿环境湿度的电阻型湿敏元件,其特征在于:它具有陶瓷基体⑴,在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极⑵,在叉指金电极上连接有引线⑷,在陶瓷基体和叉指金电极表面涂覆有湿敏薄膜⑶,湿敏薄膜为交联的(三羟基硅基丙基)正丁基溴化铵和石墨烯复合湿敏材料。
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