[发明专利]可测定低湿环境湿度的电阻型湿敏元件及其制作方法

权利要求书

1.可测定低湿环境湿度的电阻型湿敏元件，其特征在于：它具有陶瓷基体⑴，在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极⑵，在叉指金电极上连接有引线⑷，在陶瓷基体和叉指金电极表面涂覆有湿敏薄膜⑶，湿敏薄膜为交联的（三羟基硅基丙基）正丁基溴化铵和石墨烯复合湿敏材料。

2.根据权利要求1所述的可测定低湿环境湿度的电阻型湿敏元件的制作方法，其特征在于包括以下步骤：

1）清洗表面光刻和蒸发有叉指金电极的陶瓷基片，烘干备用；

2）将三口烧瓶进行除水除氧处理，依次加入10-20克3-氨丙基三乙氧基硅烷，10-20克溴代正丁烷和1-10毫升无水乙醇，在常温搅拌下通氮气10-60分钟，然后升温至20-80℃，并在氮气保护下反应10-30小时，将得到反应物继续升温至40-80℃，滴加2-6毫升pH值为1-5的盐酸水溶液，继续反应0.5-3小时，反应液用5-30毫升无水乙醇稀释，在乙醚中沉淀析出，然后过滤，真空干燥12-60小时，得（三羟基硅基丙基）正丁基溴化铵；

3）将3-15毫克氧化石墨烯超声振荡分散于1-5毫升水中，加入50-150微升质量含量为85%的水合肼，然后加入0.5-1.5克（三羟基硅基丙基）正丁基溴化铵，搅拌使其充分溶解分散，制得前驱体溶液；

4）将步骤1）的陶瓷叉指金电极浸渍于前驱体溶液中0.5～2分钟，提拉取出后，60-120^oC下加热，得到可测定低湿环境湿度的电阻型湿敏元件。