[发明专利]压阻压力传感器有效
| 申请号： | 201110190682.3 | 申请日： | 2011-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN102374918A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | T.福克斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李少丹;李家麟 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压阻压力传感器，包括硅衬底（1），在该硅衬底（1）上布置有构造膜片（8）的碳化硅层（7），其中还在硅衬底（1）的与碳化硅层（7）相对的那侧上布置有电绝缘层（3），在电绝缘层（3）的与膜片（8）相对的那侧上布置有压电电阻（4）和具有金属接触部（9）的印制导线（5）以用于以压阻方式检测膜片（8）的压力引起的变形。这种传感器尤其是适用于诸如远高于500℃的高温时的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
压阻压力传感器，包括硅衬底（1），在该硅衬底（1）上布置有构造膜片（8）的碳化硅层（7），其中还在硅衬底（1）的与碳化硅层（7）相对的那侧上布置有电绝缘层（3），在电绝缘层（3）的与膜片（8）相对的那侧上布置有压电电阻（4）和具有金属接触部（9）的印制导线（5）以用于以压阻方式检测膜片（8）的压力引起的变形。
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