[发明专利]一种放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺

摘要

本发明公开了一种放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺，属于微机电系统技术领域。在Y方向侧边上，该陀螺的质量块11通过折叠梁Ⅱ13与杠杆3连接，所述叠梁Ⅱ13与杠杆3的连接点称为第二驱动传递点；两根杠杆支点梁2将所述杠杆3连接在锚点上，杠杆支点梁2和杠杆3的连接点称为支点；同时杠杆3还分别通过两根驱动传递梁1与驱动梳齿梁6连接，所述杠杆3与驱动传递梁1的连接点称为第一驱动传递点；支点离第一驱动传递点的距离d1小于支点离第二驱动传递点的距离d2。由于利用杠杆原理对X向位移放大，该陀螺相比现有陀螺，在输入角速度不变的情况上，因科氏力引起陀螺敏感方向的电容变化量也增加了d2/d1倍，有利于检测，提高灵敏度。

主权项

一种放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺，包括质量块(11)；以质量块(11)中心为原点，与质量块一边平行的方向为X方向，与另一方向平行的方向为Y方向，本发明提出的放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺在X方向上关于Y轴对称，在Y轴方向上关于X轴对称；所述质量块(11)通过连在其X方向侧边的折叠梁Ⅱ(13)与敏感梳齿梁(12)连接，敏感梳齿梁(12)通过两端的折叠梁Ⅰ(10)连接在锚点上；固定在敏感梳齿梁(12)上的动梳齿与固定在敏感检测电极(15)上的静梳齿构成敏感检测梳齿对(14)，以完成敏感方向的电容检测；在Y方向侧边上，质量块(11)通过折叠梁Ⅱ(13)与平行于质量块Y向侧边的杠杆(3)连接，所述叠梁Ⅱ(13)与杠杆(3)的连接点称为第二驱动传递点；两根杠杆支点梁(2)将所述杠杆(3)连接在锚点上，杠杆支点梁(2)和杠杆(3)的连接点称为支点；同时杠杆(3)还分别通过两根驱动传递梁(1)与驱动梳齿梁(6)连接，所述杠杆(3)与驱动传递梁(1)的连接点称为第一驱动传递点；必须满足：支点离第一驱动传递点的距离d1小于支点离第二驱动传递点的距离d2；同时驱动梳齿梁(6)的两个端点通过折叠梁Ⅰ(10)连接在锚点上；固定在驱动梳齿梁(6)的驱动梳齿与固定在驱动电极(7)上的驱动静梳齿构成驱动梳齿对(8)，以完成驱动；固定在驱动梳齿梁(6)的驱动检测梳齿与固定在驱动检测电极(4)上的驱动检测静梳齿构成驱动检测梳齿对(8)，以完成驱动方向的电容检测。