[发明专利]单晶生长炉隔离阀腔体

摘要

本发明公开了一种单晶生长炉隔离阀腔体。它包括上法兰、下法兰、观察窗、阀口法兰、阀口接管、方形内胆、半圆内胆、方形外壳、半圆外壳、水圈、长塞堵、短塞堵、盖板、隔水块、隔水条、分水条、出水管、进水接头、卸压阀、真空接头、视口法兰、颈内管、颈外管；方形内胆和半圆内胆纵向焊接成筒状，形成腔体内胆，方形外壳和半圆外壳纵向焊接成筒状，形成腔体外壳，腔体内胆套在腔体外壳内，并焊在上法兰和下法兰之间，在腔体内胆和腔体外壳之间焊有隔水条和分水条，形成螺旋形水道。本发明设计简单，容易实现。用于单晶生长的设备中，作为隔离阀的腔体，为隔离阀及隔离阀腔体提供一种冷却系统,为隔离阀提供一种恒温的工作环境,延长其使用寿命。

主权项

一种单晶生长炉隔离阀腔体，其特征在于包括上法兰（1）、下法兰（2）、观察窗（3）、阀口法兰（4）、阀口接管（5）、方形内胆（6）、半圆内胆（7）、方形外壳（8）、半圆外壳（9）、水圈（10）、长塞堵（11）、短塞堵（12）、盖板（13）、隔水块（14）、隔水条（15）、分水条（16）、出水管（17）、进水接头（18）、卸压阀（19）、真空接头（20）、视口法兰（21）、颈内管（22）、颈外管（23）；方形内胆（6）和半圆内胆（7）纵向焊接成筒状，形成腔体内胆，方形外壳（8）和半圆外壳（9）纵向焊接成筒状，形成腔体外壳，腔体内胆套在腔体外壳内，并焊在上法兰（1）和下法兰（2）之间，在腔体的两侧面焊有两个观察窗（3），在腔体的直角处焊有阀口接管（5），阀口接管（5）上装有阀口法兰（4），在腔体的前部中间位装有颈内管（22）、颈外管（23）、视口法兰（21），颈内管（22）焊在半圆内胆（7）上，颈外管（23）焊在半圆外壳（8）上，视口法兰（21）焊在颈内管（22）和颈外管（23）的平齐端面上，出水管（17）接在上法兰上的出水口（F）处，进水接头（18）焊在方形外壳(8)的下部，泄压阀(19)装在方形外壳(8)的上部，真空接头(20)在腔体背面的中间部位，穿过方形外壳(8)和方形内胆(6)，与腔体内腔相通，在腔体内胆和腔体外壳之间焊有隔水条(15)和分水条(16)，形成螺旋形水道，在上法兰(1)的内圈槽口焊有水圈(10)，在水圈(10)与上法兰(1)的内槽组成的空腔中焊有隔水块(14)，在上法兰(1)的三个侧面的孔中装有长塞堵(11)、短塞堵(12)和盖板(13)。