[发明专利]单晶生长炉隔离阀腔体

说明书

技术领域

本发明涉及单晶生长炉，尤其涉及一种单晶生长炉隔离阀腔体。

背景技术

在单晶生长炉中，要有一个在炉膛和拉伸腔之间作为过渡的腔体，装隔离阀用，但由于是在热场上方，温度很高，经常出现热损，不是隔离阀被损坏，就是隔离阀腔体被损坏，因此考虑采用水冷却系统，将隔离阀腔体内设计成夹层螺旋式水道，把对接的法兰内部挖空，做成蜂窝状，使冷却水无处不到，像血液一样循环于隔离阀腔体。

发明内容

本发明的目的是为了克服单晶生长炉隔离阀及隔离阀腔体的热损坏，延长其使用寿命，为隔离阀及隔离阀腔体的降温，提供一种冷却系统。

单晶生长炉隔离阀腔体包括上法兰、下法兰、观察窗、阀口法兰、阀口接管、方形内胆、半圆内胆、方形外壳、半圆外壳、水圈、长塞堵、短塞堵、盖板、隔水块、隔水条、分水条、出水管、进水接头、卸压阀、真空接头、视口法兰、颈内管、颈外管；方形内胆和半圆内胆纵向焊接成筒状，形成腔体内胆，方形外壳和半圆外壳纵向焊接成筒状，形成腔体外壳，腔体内胆套在腔体外壳内，并焊在上法兰和下法兰之间，在腔体的两侧面焊有两个观察窗，在腔体的直角处焊有阀口接管，阀口接管上装有阀口法兰，在腔体的前部中间位，装有颈内管、颈外管、视口法兰，颈内管焊在半圆内胆上，颈外管焊在半圆外壳上，视口法兰管焊在颈内管和颈外管的平齐端面上，出水管接在上法兰上的出水口F处，进水接头焊在方形外壳的下部，泄压阀装在方形外壳的上部，真空接头在腔体背面的中间部位，穿过方形外壳和方形内胆，与腔体内腔相通，在腔体内胆和腔体外壳之间焊有隔水条和分水条，形成螺旋形水道，在上法兰的内圈槽口焊有水圈，在水圈与上法兰的内槽组成的空腔中焊有隔水块，在上法兰的三个侧面的孔中装有长塞堵、短塞堵和盖板。

本发明设计简单，容易实现。用于单晶生长的设备中，作为隔离阀的腔体，为隔离阀提供了一种恒温安逸的工作环境。

附图说明

图1是单晶生长炉隔离阀腔体的结构示意图；

图2是图1的A—A剖面图；

图3是图1移去外壳从180°处断开的平铺图；

图4是图1的B向视图；

图中：上法兰1、下法兰2、观察窗3、阀口法兰4、阀口接管5、方形内胆6、半圆内胆7、方形外壳8、半圆外壳9、水圈10、长塞堵11、短塞堵12、盖板13、隔水块14、隔水条15、分水条16、出水管17、进水接头18、卸压阀19、真空接头20、视口法兰21、颈内管22、颈外管23、进水口E、出水口F、泄压口D、法兰入水口G、大视口H。

具体实施方式

如图所示，单晶生长炉隔离阀腔体包括上法兰1、下法兰2、观察窗3、阀口法兰4、阀口接管5、方形内胆6、半圆内胆7、方形外壳8、半圆外壳9、水圈10、长塞堵11、短塞堵12、盖板13、隔水块14、隔水条15、分水条16、出水管17、进水接头18、卸压阀19、真空接头20、视口法兰21、颈内管22、颈外管23。方形内胆6和半圆内胆7纵向焊接成筒状，形成腔体内胆，方形外壳8和半圆外壳9纵向焊接成筒状，形成腔体外壳，腔体内胆套在腔体外壳内，并焊在上法兰1和下法兰2之间，在腔体的两侧面焊有两个观察窗3，在腔体的直角处焊有阀口接管5，阀口接管5上装有阀口法兰4，在腔体的前部中间位，装有颈内管22、颈外管23、视口法兰21，颈内管22焊在半圆内胆7上，颈外管23焊在半圆外壳8上，视口法兰21焊在颈内管22和颈外管23的平齐端面上，出水管17接在上法兰上的出水口F处，进水接头18焊在方形外壳8的下部，泄压阀19装在方形外壳8的上部，真空接头20在腔体背面的中间部位，穿过方形外壳8和方形内胆6，与腔体内腔相通，在腔体内胆和腔体外壳之间焊有隔水条15和分水条16，形成螺旋形水道，在上法兰1的内圈槽口焊有水圈10，在水圈10与上法兰1的内槽组成的空腔中焊有隔水块14，在上法兰1的三个侧面的孔中装有长塞堵11、短塞堵12和盖板13。