[发明专利]带电粒子束装置以及试样加工方法有效
| 申请号： | 201110187310.5 | 申请日： | 2011-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN102315066A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 小川贵志 | 申请（专利权）人： | 精工电子纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;H01J37/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供带电粒子束装置以及试样加工方法，该带电粒子束装置具有：离子源，其产生离子束；第1物镜电极，其形成使离子束聚焦至试样上的第1物镜；第2物镜电极，其被配置在比第1物镜电极更靠近试样的位置处，形成第2物镜，该第2物镜使以低加速电压加速后的离子束聚焦至试样上。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 以及 试样 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束装置，该带电粒子束装置具有：收纳试样的试样室；以及离子束镜筒，其通过加速电压对离子束进行加速，并使离子束聚焦地照射到该试样上，其中，所述离子束镜筒具有：离子源，其被收纳在所述离子束镜筒的基端侧，产生离子束；以及离子光学系统，其向所述试样照射所述离子束，所述离子光学系统具有：第1物镜电极，其使所述离子束聚焦至所述试样上；以及第2物镜电极，其使以第2加速电压加速后的离子束聚焦至所述试样上，其中，所述第2加速电压比对所述离子束进行加速的第1加速电压低。
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