[发明专利]新型多晶硅制绒工艺

摘要

本发明为新型多晶硅制绒工艺，结合了电化学腐蚀和化学酸腐蚀制绒特点。首先采用电化学腐蚀法对多晶硅进行刻蚀，然后采用化学酸腐蚀法进行二次腐蚀。不仅能够克服化学酸腐蚀过程中腐蚀速度不易控制等问题，同时也能解决电化学腐蚀法中腐蚀不均匀等问题。本发明新型多晶硅制绒工艺具有高的稳定性，制备的多晶硅太阳能电池具有低的反射率及高的光电转化效率，具有比较好的开发价值。

主权项

本发明是新型多晶硅制绒工艺，结合了电化学腐蚀法和化学酸腐蚀法腐蚀优点，降低多晶硅绒面反射率，提高多晶硅太阳电池的光电转换效率。