[发明专利]具有馈线屏蔽装置的供电装置及其基板处理装置有效
| 申请号： | 201110185327.7 | 申请日： | 2011-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN102315071A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 都在辙;全富一;宋明坤;李政洛 | 申请（专利权）人： | 周星工程有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05K9/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有馈线屏蔽装置的供电装置及其基板处理装置。基板处理装置包括：腔室盖子和腔室机身结合以提供反应空间的工序腔室；设置在所述工序腔室内部的源极；向所述源极供应RF电源的RF电源；连结所述源极和所述RF电源的馈线；以及包围住馈线且屏蔽馈线电场的屏蔽装置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 馈线 屏蔽 装置 供电 及其 处理 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，其特征在于，包括：腔室盖子和腔室机身结合以提供反应空间的工序腔室；设置在所述工序腔室内部的源极；向所述源极供应RF电源的RF电源；连结所述源极和所述RF电源的馈线；以及包围住所述馈线且屏蔽所述馈线的电场的屏蔽装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于周星工程有限公司，未经周星工程有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110185327.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种涤纶短纤维油剂
- 下一篇：一种无纺布在线处理的装置
