[发明专利]放大观察设备

摘要

本发明提供一种放大观察设备，其可以平滑地切换电子显微镜图像和光学放大观察图像的观察域。该放大观察设备包括：封闭主体部分的端面的一对端面板；安装在主体部分的圆柱形外表面的第一位置上的电子束成像装置；安装在外表面上不同于第一位置的第二位置上的光学成像装置；旋转装置，沿外表面旋转两个成像装置以使得从两个成像装置的每一个到两个成像装置的公共旋转轴的距离保持恒定，并且两个成像装置的光轴都朝向旋转轴；布置在样本室中的样本台，其被布置到基本与旋转轴的高度相同的位置。

主权项

一种放大观察设备，包括：主体部分，其具有基本为圆柱形的外表面，并且主体部分的内部空间可以减压为样本室；一对端面板，其封闭主体部分的端面，这些端面彼此相对布置；电子束成像装置，其作为第一观察装置，该电子束成像装置安装在主体部分的圆柱形外表面的第一位置上，用于获得样本室中的电子显微镜图像；光学成像装置，其作为第二观察装置，该光学成像装置安装在主体部分的圆柱形外表面的第二位置上，用于获得样本室中的光学图像，第二位置不同于第一位置；旋转装置，其使电子束成像装置和光学成像装置沿着主体部分的圆柱形外表面旋转，以使得从电子束成像装置和光学成像装置中的每一个到电子束成像装置和光学成像装置的公共旋转轴的距离保持恒定，并且电子束成像装置和光学成像装置的光轴都朝向该旋转轴；样本台，其布置在样本室中，用于放置观察目标的样本；以及样本台调节部分，其将置于样本台上的样本的观察表面的高度调节为基本与旋转轴的高度相同的位置。