[发明专利]放大观察设备

权利要求书

1.一种放大观察设备，包括：

主体部分，其具有基本为圆柱形的外表面，并且主体部分的内部空间可以减压为样本室；

一对端面板，其封闭主体部分的端面，这些端面彼此相对布置；

电子束成像装置，其作为第一观察装置，该电子束成像装置安装在主体部分的圆柱形外表面的第一位置上，用于获得样本室中的电子显微镜图像；

光学成像装置，其作为第二观察装置，该光学成像装置安装在主体部分的圆柱形外表面的第二位置上，用于获得样本室中的光学图像，第二位置不同于第一位置；

旋转装置，其使电子束成像装置和光学成像装置沿着主体部分的圆柱形外表面旋转，以使得从电子束成像装置和光学成像装置中的每一个到电子束成像装置和光学成像装置的公共旋转轴的距离保持恒定，并且电子束成像装置和光学成像装置的光轴都朝向该旋转轴；

样本台，其布置在样本室中，用于放置观察目标的样本；以及

样本台调节部分，其将置于样本台上的样本的观察表面的高度调节为基本与旋转轴的高度相同的位置。

2.根据权利要求1所述的放大观察设备，其中旋转装置被配置为使电子束成像装置和光学成像装置同时旋转，并且

电子束成像装置和光学成像装置通过旋转装置旋转的范围被配置为使得电子束成像装置和光学成像装置的轨迹至少部分彼此重叠。

3.根据权利要求1所述的放大观察设备，其中第一位置和第二位置设置在基本同一平面上，该平面与主体部分的圆柱形外表面上的旋转轴基本相互垂直。

4.根据权利要求1所述的放大观察设备，其中第一位置和第二位置固定，同时第一位置和第二位置彼此靠近到使得光学成像装置和电子束成像装置不相互干扰的程度。

5.根据权利要求1所述的放大观察设备，其中主体部分的圆柱形外表面的至少一部分和端面板中的一个构成通过旋转装置旋转的旋转部分，

另一个端面板构成不会旋转的固定部分，其与旋转装置的旋转运动无关，并且

样本台被安装到固定部分侧。

6.根据权利要求1所述的放大观察设备，其中旋转装置置于主体部分的旋转部分与端面板的固定部分之间。

7.根据权利要求5所述的放大观察设备，其中端面板中的任意一个形成开关盖子部分。

8.根据权利要求7所述的放大观察设备，其中盖子部分是固定部分，并且样本台安装在盖子部分上。

9.根据权利要求5所述的放大观察设备，其中样本台包括水平表面移动机构和高度调节机构，水平表面移动机构在样本台以水平姿势保持不倾斜的状态的同时在水平面内移动样本台，高度调节机构调节样本台的高度。

10.根据权利要求9所述的放大观察设备，其中样本台的水平表面移动机构和高度调节机构安装在固定部分侧。

11.根据权利要求9所述的放大观察设备，其中水平表面移动机构包括旋转操作旋钮，其调节样本台在X轴方向和Y轴方向上的移动量，以及

高度调节机构还包括旋转操作旋钮，其调节样本台在Z轴方向上的移动量。

12.根据权利要求7所述的放大观察设备，其中盖子部分安装在主体部分上，以滑动的方式打开和关闭，并且

盖子部分被配置为将样本台连同盖子部分一起从样本室内拉出。

13.根据权利要求9所述的放大观察设备，其中高度调节机构被配置为从与旋转轴的高度相同的位置降低样本台。

14.根据权利要求13所述的放大观察设备，其中高度调节机构的移动轨迹包括电子束成像装置和光学成像装置的焦点可变的范围。

15.根据权利要求1所述的放大观察设备，其中电子束成像装置包括电子枪，其使用电子束照射样本，以及

在样本室的内表面的固定部分中还设置有检测器，用以检测从电子枪辐射以及由样本反射的二次电子和/或反射电子。

16.根据权利要求1所述的放大观察设备，其中在端面板的一个中设置吸气口，该吸气口将样本室中的空气抽吸到对样本室进行减压的减压泵中。