[发明专利]导电原子力显微镜的探针以及采用此探针的测量方法有效
| 申请号： | 201110182011.2 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102353817A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 徐耿钊;刘争晖;钟海舰;樊英民;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/40 | 分类号： | G01Q60/40;G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 孙佳胤;翟羽 |
| 地址： | 215125 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种导电原子力显微镜的探针，包括悬臂探针基底、针尖和设置在针尖表面的导电薄膜，所述导电薄膜的材料是石墨烯。本发明进一步提供了采用上述探针测量半导体局域导电性质的方法以及测量太赫兹波段无孔针尖近场光学探测的方法。本发明利用了石墨烯是由碳原子组成的可薄至单原子层的，零带隙、半金属的二维层状薄膜材料的特点，其导电性好，电子迁移率高，并且费米面可随充放电自我调节，具有较低的载流子注入势。此外，石墨烯的电子等离激元震荡频率正好位于太赫兹波段，材质柔软，热力学稳定性强。这些都是利用其替代传统金属材料作为原子力显微镜探针表面镀膜，从而突破上述两点局限的物理基础。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 原子 显微镜 探针 以及 采用 测量方法 | ||
【主权项】：
一种导电原子力显微镜的探针，其特征在于，包括悬臂探针基底、针尖和设置在针尖表面的导电薄膜，所述导电薄膜的材料是石墨烯。
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