[发明专利]一种玻璃镀膜设备及其中的磁流体密封装置

摘要

本发明公开了一种玻璃镀膜设备，其包括镀膜室、真空转换室、靶材和磁流体密封装置，磁流体密封装置包括外套、微型螺丝、内轴、中型螺丝和磁流体，磁流体包括磁粉和界面活性剂，内轴套在外套中且与外套轴向平行，微型螺丝和中型螺丝将内轴和外套连接并固定，内轴和外套之间具有缝隙，磁流体填充于内轴和外套之间的缝隙内。该设备有效地解决了目前玻璃镀膜设备中真空密封装置存在的易老化变形、漏气等问题，实现对玻璃镀膜设备中靶材的高度密封。

主权项

一种玻璃镀膜设备，其特征在于，所述设备包括镀膜室、真空转换室、靶材和磁流体密封装置，所述磁流体密封装置包括外套、微型螺丝、内轴、中型螺丝和磁流体，所述磁流体包括磁粉和界面活性剂，所述内轴套在所述外套中且与所述外套轴向平行，所述微型螺丝和所述中型螺丝将所述内轴和所述外套连接并固定，所述内轴和所述外套之间具有缝隙，所述磁流体填充于所述内轴和所述外套之间的所述缝隙内。