[发明专利]一种玻璃镀膜设备及其中的磁流体密封装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃镀膜设备及密封装置。

背景技术

目前玻璃镀膜设备已有广泛应用，其中的真空密封装置是很重要的一个部件。但在国、内外的玻璃镀膜设备中，通常都采用氟橡胶圈油封的密封形式。但是由于橡胶制品材料性能的局限性，导致该密封方式具有如下缺点：首先，橡胶制品在常温常压下长期存放会逐渐老化变脆。其次，由于橡胶圈必须在压缩状态下才能发挥其功用，而橡胶圈处在长期被压缩状态时，会发生永久变形或称残余变形，直接影响密封效果。另外，油封浸润于密封油中后，随着时间的推移，橡胶分子与油的亲和性，会使油慢慢浸人橡胶，同时，橡胶中的增塑剂、防老剂、硫化促进剂及其分解生成物亦会从橡胶中被抽出，促使油封的形状尺寸和弹性等发生变化，使密封性能变坏。由于这些材料本身表现出来的物理的、机械的和化学的局限性，加上油封唇口与转轴之间摩擦及磨损问题的存在，因此人们在密封设计中大都将油封列为易损件的范围之列。

发明内容

为了克服现有技术中玻璃镀膜设备存在的诸多缺陷，提高玻璃镀膜设备的密封性、稳定性以及玻璃质量，有效地解决目前真空密封装置存在的易老化变形、漏气等问题，实现对玻璃镀膜设备中靶材的高度密封。

本发明公开了一种玻璃镀膜设备，其包括镀膜室、真空转换室、靶材和磁流体密封装置，磁流体密封装置包括外套、微型螺丝、内轴、中型螺丝和磁流体，磁流体包括磁粉和界面活性剂，内轴套在外套中且与外套轴向平行，微型螺丝和中型螺丝将内轴和外套连接并固定，内轴和外套之间具有缝隙，磁流体填充于内轴和外套之间的缝隙内。

本发明公开了一种用于玻璃镀膜设备的磁流体密封装置，其包括外套、微型螺丝、内轴、中型螺丝和磁流体，磁流体包括磁粉和界面活性剂，内轴套在外套中且与外套轴向平行，微型螺丝和中型螺丝将内轴和外套连接并固定，内轴和外套之间具有缝隙，磁流体填充于内轴和外套之间的缝隙内。

附图说明

图1为本发明的玻璃镀膜设备中磁流体动密封装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更清楚地理解本发明的玻璃镀膜设备及磁流体密封装置的技术方案，下面结合附图描述其具体实施方式。

磁流体也称为磁性液体、磁液或铁磁流体。它既具有磁性材料和液体的特性，又具有利用磁场控制流变性、热物理性和光学性能的能力。它是将超微磁粒通过界面活性剂高度分散在载液中而形成的一种胶体溶液。

参考图1，本发明的用于玻璃镀膜设备的磁流体密封装置1，其包括外套2、微型螺丝3、内轴4、中型螺丝5和磁流体6，磁流体包括磁粉和界面活性剂，内轴4套在外套2中且与外套2轴向平行，微型螺丝3和中型螺丝5将内轴4和外套2连接并固定，内轴4和外套2之间具有缝隙，磁流体6填充于内轴4和外套2之间的缝隙内。

本发明的玻璃镀膜设备包括镀膜室、真空转换室、靶材和磁流体密封装置，磁流体密封装置包括外套、微型螺丝、内轴、中型螺丝和磁流体，内轴套在外套中且与外套轴向平行，微型螺丝和中型螺丝将内轴和外套连接并固定，内轴和外套之间具有缝隙，磁流体填充于内轴和外套之间的缝隙内。

在磁场的作用下，磁流体充满外套与内轴之间的间隙，沿轴横截面四周形成一个个“O”形密封环，从而实现对被密封介质的阻断。

该磁流体密封装置的制造方法为：首先将磁粉和界面活性剂塞入内轴和外套之间的缝隙处，然后通过微型螺丝以及中型螺丝将外套和内轴相接合并固定，最终形成完整的磁流体密封装置，其中微型螺丝和中型螺丝起到连接磁流体密封装置中其它部件的作用。

磁粉为高分子金属材料，经过了绝缘处理。

玻璃镀膜设备优选为可钢化低辐射节能玻璃镀膜设备。

本发明的玻璃镀膜设备及其中的磁流体密封装置带来的有益效果主要表现在以下几点：

第一、寿命长。这是一种非接触式密封，或称液一固接触式密封。它不存在传统密封中，密封件与旋转轴固一固两相界面之间的磨损失效问题，可以长时间维持最初的密封状态。并且气体密封用磁流体一般都采用二脂基型的磁流体，这是目前应用于气体动密封中工艺技术最为成熟、饱和蒸气压最低的一种磁流体。80℃时测得蒸发量小于8.5x10^-6g/cm2·h，传统用于密封的油(脂)是无法与它相比较的。

第二、基本无泄漏。动、静态测试表明，即使用氦质谱检测仪在1×10^-12Pa·m3/s条件下都难以检出。因此，可以称磁流体密封为“零泄漏”密封。