[发明专利]电容耦合等离子体制备四族纳米颗粒的装置及方法

摘要

本发明公开了一种电容耦合等离子体制备四族纳米颗粒的装置及方法。本发明装置中，内、外电极的中心重合，构成同心结构的射频电极和地电极，内、外电极之间的腔体为反应腔体，当射频电源工作之后，在内、外电极之间产生等离子体。本发明装置结构简单，具有更大的等离子体发生面积，可以维持连续的稳定生产。采用本发明装置电容耦合等离子体制备四族纳米颗粒，既能保证等离子体的密度，也能保证等离子体的均匀度，制备的纳米颗粒均匀度好，可以持续稳定地生产，适合工业化生产的推广。

主权项

一种电容耦合等离子体制备四族纳米颗粒的装置，其特征在于，包括：外电极和内电极，所述的外电极由一中空的外壳构成，所述的外壳上设有进气口和出气口，所述的内电极固定在所述的外壳的内部，所述的内、外电极形状相同、中心重合；所述的外电极接地为地电极，所述的内电极与外接的射频激发装置相连为射频电极，所述的内电极与外电极之间的腔体为反应腔体。