[发明专利]一种超硬金刚石薄膜力学性能的测试方法无效
| 申请号： | 201110161565.4 | 申请日： | 2011-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN102323170A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 于翔;华敏奇;周海;马磊;宁振武;秦月;王成彪 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学(北京) |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42;G01N3/02 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 蒋常雪 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超硬金刚石薄膜力学性能的测试方法，所述测试方法为采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用自动加载机构对金刚石薄膜连续施加数N至上千N范围的载荷，通过人造金刚石压头将连续载荷施加至金刚石薄膜表面，压入深度控制在1/10-1/15膜厚范围内，通过位移传感器和计算机处理得到材料的载荷-深度曲线，再按设定的卸载速率得到卸载时的载荷-深度曲线，将两组数据经过计算得到材料的弹性模量及硬度。本发明采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用廉价的金刚石压头代替昂贵的镀金刚石膜压针，降低了实验的成本，减少了实验误差，并能满足对厚金刚石膜的硬度、弹性模量及膜基结合力的测量要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 薄膜 力学性能 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种超硬金刚石薄膜力学性能的测试方法，其特征在于：所述测试方法为采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度、弹性模量及膜基结合力；利用自动加载机构对金刚石薄膜连续施加数N至上千N范围的载荷，通过人造金刚石压头将连续载荷压入施加至金刚石薄膜表面，压入深度控制在1/10‑1/15膜厚范围内，通过位移传感器和计算机处理得到材料的载荷‑深度曲线，再按设定的卸载速率得到卸载时自动加载机构自身的弹性形变曲线，将两组数据经过计算得到材料的弹性模量、硬度及膜基结合力。
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