[发明专利]多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量激光入射角度的装置及方法

摘要

多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量激光入射角度的装置及方法，它涉及一种测量激光入射角度的装置及方法。它为解决现有激光外差动态测角法在测量激光入射角度时存在采集激光差频信号质量差和信号处理的运算速度慢的问题而提出。振镜做简谐振动；打开激光器；通过信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并对采集到的差频信号进行处理，根据激光外差信号的频率与激光入射至已知厚度的玻璃板的折射角的比例系数，获得待测的入射角。它具有采集激光差频信号质量高，信号处理的运算速度快的优点。它可广泛应用于超精密测量、检测、加工设备、激光雷达系统。

主权项

多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量激光入射角度的装置，其特征在于它包括H0固体激光器(1)、偏振分束镜PBS(2)、四分之一波片(3)、振镜(4)、平面反射镜(5)、已知厚度的玻璃板(6)、会聚透镜(7)、光电探测器(8)和信号处理系统(9)，H0固体激光器(1)发出的线偏振光经偏振分束镜PBS(2)反射后入射至四分之一波片(3)，经所述四分之一波片(3)透射后的光束入射至振镜(4)的光接收面，经所述振镜(4)反射的光束再次经四分之一波片(3)透射后发送至偏振分束镜PBS(2)，经该偏振分束镜PBS(2)透射后的光束入射至平面反射镜(5)的反射面，经该平面反射镜(5)反射后的光束入射至已知厚度的玻璃板(6)前表面，经该已知厚度的玻璃板(6)前表面透射的光束在该已知厚度的玻璃板(6)内，经该已知厚度的玻璃板(6)后表面与前表面多次反射后获得多束反射光，该多束反射光经该已知厚度的玻璃板(6)的前表面透射之后与经该已知厚度的玻璃板(6)前表面反射后的光束均通过会聚透镜(7)汇聚至光电探测器(8)的光敏面上，所述光电探测器(8)输出电信号给信号处理系统(9)。