[发明专利]多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量激光入射角度的装置及方法无效
| 申请号： | 201110144687.2 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102221355A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李彦超;王春晖;高龙;曲杨;丛海芳;邵文冕 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01C1/00 | 分类号： | G01C1/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量激光入射角度的装置及方法，属于微位移检测技术领域。它解决了传统的外差干涉测量激光入射角度技术由于只能得到单一的待测参数值而使测量精度低的问题。本发明装置由激光器、偏振分束镜PBS、四分之一波片、振镜、平面反射镜、平面标准镜、会聚透镜、光电探测器和信号处理系统组成；方法为打开振镜和打开激光器；在测量过程中，通过信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并进行处理，根据频率与折射角的关系fp＝Kpcosθ获得平面标准镜的激光折射角θ的关系式，进而获得平面标准镜的激光入射角θ0。本发明适用于激光入射角度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 多普勒 正弦 调制 光束 激光 外差 测量 入射 角度 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量激光入射角度的装置，其特征在于：该装置由激光器(1)、偏振分束镜PBS(2)、四分之一波片(3)、振镜(4)、平面反射镜(5)、平面标准镜(6)、会聚透镜(7)、光电探测器(8)和信号处理系统(9)组成，激光器(1)发出的线偏振光经偏振分束镜PBS(2)反射后入射至四分之一波片(3)，经该四分之一波片(3)透射后的光束入射至振镜(4)的光接收面，经该振镜(4)反射的光束再次经四分之一波片(3)透射后发送至偏振分束镜PBS(2)，经该偏振分束镜PBS(2)透射后的光束入射至平面反射镜(5)的反射面，经该平面反射镜(5)反射后的光束入射至平面标准镜(6)前表面，经该平面标准镜(6)前表面透射的光束在该平面标准镜(6)内，经该平面标准镜(6)内部后表面与前表面多次反射后获得多束反射光，该多束反射光经该平面标准镜(6)的前表面透射之后与经该平面标准镜(6)前表面反射后的光束均通过会聚透镜(7)汇聚至光电探测器(8)的光敏面上，所述光电探测器(8)输出电信号给信号处理系统(9)。
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