[发明专利]碲化铥靶材的生产工艺

摘要

一种碲化铥靶材的生产工艺的方法，其特征在于包括如下步骤：把原料4N的高纯金属Tm经压制，4N的高纯金属Te也破碎成小块一起装入石英管内；软化点1400℃；石英管用王水清洗，再用去离子水洗涤，然后用红外线烘干，石英管内抽至真空，然后加热石英管抽气口，达到熔化后密封石英管；把装好原料的密管放入高温箱式炉内加热，双温区密管合成法是密管内保持在一个大气压，密管的一端在加热炉的高温区，使管内温度达到500～650℃，另一端用水冷保持在80～120℃，这样密管内形成两个温区，完成Tm和Te合成化合物TmTe；在密管内合成的化合物TmTe磨成粉末作为压成靶材的原料，本发明碲化铥靶材的生产工艺，可以使TmTe粉末靶材的生产简单安全。

主权项

一种碲化铥靶材的生产工艺的方法，其特征在于包括如下步骤：（1）原料装入密封的石英管把原料4N的高纯金属Tm经压制，破碎成小块状或粉末，4N的高纯金属Te也破碎成小块一起装入石英管内；石英玻璃管壁厚度为2.5～3.5 mm，直径为Φ35 mm，长度为450 mm，装料量200～350 g，软化点1400 ℃；石英管用王水清洗，再用去离子水洗涤，然后用红外线烘干，石英管内抽至真空度10‑2托，然后加热石英管抽气口，达到熔化后密封石英管；（2）双温区密管合成把装好原料的密管放入高温箱式炉内加热，双温区密管合成法是密管内保持在一个大气压，密管的一端在加热炉的高温区，使管内温度达到500～650 ℃，另一端用水冷保持在80～120 ℃，这样密管内形成两个温区，完成Tm和Te合成化合物TmTe；（3）制粉在密管内合成的化合物TmTe是块状的，磨成粒度为80～180目粉末作为压成靶材的原料；（4）成形溅射靶材按不同溅射仪要求不同的形状，一般是圆盘状，所以要把粉末制成规定形状的靶材；用真空热等静压工艺，在真空热等静压设备上压制成形，施压60～65 t，热压时间4～6 min，采用有机脱模剂，压模为不锈钢。