[发明专利]多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法无效
| 申请号： | 201110142471.2 | 申请日： | 2011-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN102249186A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王岭;刘小锋;刘畅;周祥顺 | 申请（专利权）人： | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B3/50 | 分类号： | C01B3/50 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 曹晋玲;林辉轮 |
| 地址： | 614000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体分离方法领域。本发明公开了一种多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，包括如下步骤：（1）氢气尾气经干法回收后，用脱氯剂脱氯，将氢气尾气中的氢气与氯化氢、氯硅烷分离；（2）经步骤（1）脱氯后的氢气尾气，用活性炭吸附氢气尾气中的杂质，得到除杂后的氢气。通过本发明方法回收的氢气纯度高，能直接用于电子级多晶硅的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 回收 氢气 精脱氯 方法 | ||
【主权项】：
多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）氢气尾气经干法回收后，用脱氯剂脱氯，将氢气尾气中的氢气与氯化氢、氯硅烷分离，其中所述脱氯剂活性成分选自碱土金属氧化物、碱土金属氢氧化物或碱土金属碳氧化物的任一种或它们的任意混合物；（2）经步骤（1）脱氯后的氢气尾气，用活性炭吸附氢气尾气中的杂质，得到除杂后的氢气。
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