[发明专利]多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法无效
| 申请号： | 201110142471.2 | 申请日： | 2011-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN102249186A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王岭;刘小锋;刘畅;周祥顺 | 申请（专利权）人： | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B3/50 | 分类号： | C01B3/50 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 曹晋玲;林辉轮 |
| 地址： | 614000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 回收 氢气 精脱氯 方法 | ||
1.多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）氢气尾气经干法回收后，用脱氯剂脱氯，将氢气尾气中的氢气与氯化氢、氯硅烷分离，其中所述脱氯剂活性成分选自碱土金属氧化物、碱土金属氢氧化物或碱土金属碳氧化物的任一种或它们的任意混合物；
（2）经步骤（1）脱氯后的氢气尾气，用活性炭吸附氢气尾气中的杂质，得到除杂后的氢气。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述脱氯剂活性成分选自Na2O、CaO、NaOH、Ca(OH)2或Na2CO3的任一种或它们的任意混合物。
3.根据权利要求2所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述脱氯剂活性成分选自CaO和Ca(OH)2的任意混合物。
4.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述脱氯剂的杂质总含量≤100ppmw。
5.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述脱氯剂为球形颗粒或环状颗粒。
6.根据权利要求5所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述脱氯剂为球形颗粒，球形颗粒直径为1-20㎜。
7.根据权利要求6所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述球形颗粒直径为3-10㎜。
8.根据权利要求5所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述环状颗粒外径为1-40㎜。
9.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述脱氯剂的耐压强度为大于0.7 Mpa。
10.根据权利要求9所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述脱氯剂的耐压强度为1.2～2.0Mpa。
11.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述步骤（1）的吸附温度为-20℃～50℃。
12.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，其特征在于，所述步骤（1）的吸附压力为0.6～1.4Mpa。
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