[发明专利]化学机械抛光机及其抛光垫部件有效
| 申请号： | 201110110156.1 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102756340A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 陈枫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24D3/00 | 分类号： | B24D3/00;B24D13/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学机械抛光机及其抛光垫部件。化学机械抛光机包括具有平坦表面的抛光台，并且抛光台包括：电磁铁，电磁铁被设置在平坦表面下，并被配置用于将抛光垫基体固定在平坦表面上；以及开关，被配置用于对所述电磁铁的通电和断电进行控制。抛光垫部件包括抛光垫基体，并且抛光垫基体由铁磁性材料形成。本发明的化学机械抛光机及其抛光垫部件使得能够容易地进行抛光垫更换，并且，还使得能够节省抛光垫，从而降低化学机械抛光的耗材成本。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 抛光机 及其 抛光 部件 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光机，包括具有平坦表面的抛光台，其特征在于，所述抛光台包括：电磁铁，所述电磁铁被设置在所述平坦表面下，并被配置用于将抛光垫基体固定在所述平坦表面上；以及开关，被配置用于对所述电磁铁的通电和断电进行控制。
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