[发明专利]晶粒的可配置制程变异监控电路及其监控方法无效
| 申请号： | 201110107702.6 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102760639A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 陈莹晏;李日农 | 申请（专利权）人： | 瑞昱半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶粒的可配置制程变异监控电路及其监控方法，包括一环形振荡器，该环形振荡器包括多个第一标准胞元、多个第二标准胞元以及多个多工器，根据一选择信号以一第一模式或一第二模式产生一振荡信号；一分频器耦接该环形振荡器，以一分频倍数分频该振荡信号，产生一分频信号；以及一频率检测器耦接该分频器，藉由一基本时钟计数该分频信号的周期，产生一输出计数值；其中，该输出计数值与该晶粒的制程变异有关。 | ||
| 搜索关键词： | 晶粒 配置 变异 监控 电路 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种晶粒的可配置制程变异监控电路，包括：一环形振荡器，包括多个第一标准胞元、多个第二标准胞元以及多个多工器，根据一选择信号以一第一模式或一第二模式产生一振荡信号；一分频器，耦接所述环形振荡器，以一分频倍数分频所述振荡信号，产生一分频信号；以及一频率检测器，耦接所述分频器，藉由一基本时钟计数所述分频信号的周期，产生一输出计数值；其中，所述输出计数值与所述晶粒的制程变异有关。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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