[发明专利]一种制备悬浮纳米结构的方法有效
| 申请号： | 201110106827.7 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102241390A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李灿;吴文刚;丁珂;徐军;郝一龙;王阳元 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法，包括如下步骤：用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁，得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制，对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低，更有利于进入多结构并行加工，光学器件、传感器件、电子器件等方面具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 悬浮 纳米 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种制备悬浮纳米结构的方法，包括如下步骤：用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁，得到所述悬浮纳米结构。
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